采用离子色谱检测有机溶剂中痕量阴离子

摘要：

一些水溶性有机溶剂在微电子生産加工中直接与敏感元件接触,痕量阴离子含量也是影响优率的重因素,但由于溶剂基体的严重干扰,检测十分困难.本方法利用自动进样器AS40 的样品类型识别功能,先将大量溶剂中的离子浓缩在TAC-2 柱上,然后用去离子水冲洗掉溶剂基体,优化色谱条件后得到了较好色谱图.采用内标法获得了较好的线定量曲线,并检证了其重现性.该方法有较大的实用价值.

关键词： 有机溶剂 痕量阴离子 离子色谱法 微电子工业

作者: 代興雄 付瑜 李建龍 李炳輝 湯玉

作者单位: 广东省東莞新科磁電厂材料科學实验室,東莞,523087

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国离子色谱学术报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）