应用于高新技术产业的超临界流体技术

摘要：

综述了超临界流体技术在微电子,航空航天及新材料等高新技术产业中的应用,包括:精密清洗,干燥,化学沉积,光刻蚀及纳米复合材料方面的应用.

关键词： 超临界 化学沉积 光刻蚀 纳米材料 流体技术 高新技术产业

作者: 王涛 沈忠耀

作者单位: 清华大学化学工程系,北京,10008

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国超临界流体技术学术及应用研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）