钛合金表面离子增强沉积OCr18Ni9膜层及其摩擦学行为

摘要：

采用离子增强沉积(IED)技术在钛合金表面制备了OCr18Ni9膜层,对比研究了IED膜层与磁控溅射沉积膜层的沉积速率、膜基结合强度、硬度和摩擦学行为.结果表明:所获IED制备0Cr18Ni9膜层较磁控溅射沉积膜层致密性好、膜基结合强度高,同时具有较好的减摩和抗磨综合性能,能够显著地改善钛合金的摩擦学性能.

关键词： 钛合金 OCr18Ni9膜层 离子增强沉积

作者: 张晓化 刘道新 奚运涛 谭宏斌

作者单位: 西北工业大学,腐蚀与防护研究室,陕西,西安,710072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国腐蚀与防护学会耐蚀金属材料第十届学术年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 188-191

在线出版日期: 2006-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）