洁净室压差控制系统选择

摘要：

本文对洁净室压差控制系统的选择进行了研究。文章围绕压差的建立、洁净室压差的外扰因素及基本对策、洁净室压差控制方式及其系统的选择进行了论述。

关键词： 洁净室技术 空气净化 压差控制

作者: 严德隆

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国国际洁净技术论坛

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 14-21

在线出版日期: 2005-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）