离子源机理及调试浅析

摘要：

对应用离子注入设备静的低气压热阴极弧放电离子源的放电机理、引束及相关参数对束流的影响，进行了分析讨论。

关键词： 电离 等离子体 鞘层 离子流密度

作者: 刘咸成

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 231～238

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）