扫描透射离子显微成像研究

摘要：

扫描透射离子显微成像(STIM)是上世纪末发展起来的一种核分析方法,它是利用MeV级能量的离子束穿过样品后能量的损失计算出样品的面密度,从而获得样品的厚度分布图像.该技术作为一种辅助的离子微束分析方法已经在核探针系统上得到广泛应用,目前已达到30 nm的空间分辨率,结合CT技术,该方法可以获得微米尺度样品的三维结构图像.本文介绍了中科院上海应用物理研究所的扫描质子微探针(SPM)系统上的STIM方法学研究近况.

关键词： 扫描透射离子显微成像 CT技术 厚度分布图像 核分析

作者: 刘江峰 包良满 岳伟生 万天敏 李晓林 张桂林 李燕

作者单位: 中科院上海应用物理研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100049 中科院上海应用物理研究所,上海,201800

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国核技术及应用研究学术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 41-42

在线出版日期: 2006-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）