平面工艺Si位置灵敏探测器的研制

摘要：

本文描述了采用平面工艺研制的基于Si多条的一维和两维位置灵敏探测器的结构、工作原理、制备工艺技术和性能测试结果以及在空间探测方面的应用前景.

关键词： 平面工艺 Si多条 位置灵敏探测器 空间探测

作者: 谭继廉 王玮 张录 靳根明 段利敏 卢子伟 袁小华 肖国青 徐瑚珊 田大宇 宁宝俊

作者单位: 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 北京大学微电子所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间科学学会空间探测专业委员会第十九次学术会议

会议地点: 浙江宁波

会议语种:中文

页码: 376-380

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）