化学腐蚀高基频石英谐振器的研制

摘要：

高基频石英谐振器是特种谐振器之一,其特点是具有很宽的频率压控能力,本文介绍了频率高达60MHz的高基频石英谐振器的研制,主要包括化学腐蚀工艺中关键参数的确定以及高基频石英谐振器的设计及制作.

关键词： 高基频 化学腐蚀 石英谐振器

作者: 崔巍

作者单位: 航天科工集团第二研究院二○三所,100854

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十四届电子元件学术年会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 280-286

在线出版日期: 2006-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）