阳极氧化条件对Al-Ti复合氧化膜结构的影响
通过对Al-Ti复合氧化膜在磷酸-铬酸混合溶液中的溶解试验,研究了阳极氧化温度、电压及电流密度对Al-Ti复合氧化膜结构的影响.结果表明,阳极氧化温度和电压对Al-Ti复合氧化膜结构的影响很大,将改变Al2O3和TiO2在膜层中的纵向分布;而电流密度仅对复合氧化膜的晶型产生影响.
复合氧化膜 溶解 膜结构 阳极氧化
陈金菊 杨邦朝 冯哲圣
电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
国内会议
西宁
中文
261-264
2006-08-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)