会议专题

阳极氧化条件对Al-Ti复合氧化膜结构的影响

通过对Al-Ti复合氧化膜在磷酸-铬酸混合溶液中的溶解试验,研究了阳极氧化温度、电压及电流密度对Al-Ti复合氧化膜结构的影响.结果表明,阳极氧化温度和电压对Al-Ti复合氧化膜结构的影响很大,将改变Al2O3和TiO2在膜层中的纵向分布;而电流密度仅对复合氧化膜的晶型产生影响.

复合氧化膜 溶解 膜结构 阳极氧化

陈金菊 杨邦朝 冯哲圣

电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

国内会议

中国电子学会第十四届电子元件学术年会

西宁

中文

261-264

2006-08-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)