Ti掺杂纳米复合类金刚石涂层的摩擦磨损和抗水蚀性能的研究
利用改进型闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti掺杂类金刚石纳米复合涂层.研究了不同偏压和Ti靶电流对涂层的结构,摩擦磨损性能和抗水蚀性能的影响,结果表明在100V偏压,Ti靶电流4A时制得的Ti-DLC复合涂层有良好的附着力和很高的硬度,优良的摩擦磨损性能和抗水蚀性.
类金刚石 纳米复合涂层 中频磁控溅射 摩擦磨损 水蚀
黄志宏 杨兵 刘传胜 郭立平 范湘军 付德君
武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室,湖北,武汉,430072
国内会议
武汉
中文
290-293
2006-10-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)