Ti掺杂纳米复合类金刚石涂层的摩擦磨损和抗水蚀性能的研究

摘要：

利用改进型闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti掺杂类金刚石纳米复合涂层.研究了不同偏压和Ti靶电流对涂层的结构,摩擦磨损性能和抗水蚀性能的影响,结果表明在100V偏压,Ti靶电流4A时制得的Ti-DLC复合涂层有良好的附着力和很高的硬度,优良的摩擦磨损性能和抗水蚀性.

关键词： 类金刚石 纳米复合涂层 中频磁控溅射 摩擦磨损 水蚀

作者: 黄志宏 杨兵 刘传胜 郭立平 范湘军 付德君

作者单位: 武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室,湖北,武汉,430072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 290-293

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）