一种新型离子注入方法——电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入研究
本文提出了一种新型的等离子体基离子注入方法--电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入,介绍了该方法的基本结构和基本原理,采用该方法,进行了硫元素的离子注入,采用X射线光电子能谱深度剥层分析的方法测量了注入硫的深度分布,并采用TRIM程序对注入结果进行了模拟对比分析.
辉光等离子体 离子注入 电场 硫元素
李刘合 梁爱凤 尹蓝 朱剑豪
北京航空航天大学机械工程与自动化学院,材料加工与控制系,北京,100083 香港城市大学,应用物理及材料系,等离子体实验室,香港,九龙塘,达之路
国内会议
武汉
中文
110-113
2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）