石英绝缘片在真空弧离子源中的应用
将石英薄片用于真空弧离子源的绝缘介质,是一次创新性的尝试.文中对石英片的物理性质和击穿特性进行了研究,采用金相显微镜观察了阴极斑附近和远区的微观图像,对使用不同绝缘介质的真空弧离子源的放电等离子体发射光谱和引出束流强度的稳定性进行了测量和比对.研究结果表明:采用石英绝缘片的真空弧离子源具有良好的环境适应性,而且在离子源脉冲工作时,放电等离子体中的杂质较少、引出束流强度稳定性很好.
石英 绝缘 真空弧离子源 光谱诊断
唐平瀛 戴晶怡 谈效华
中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川绵阳,621900
国内会议
武汉
中文
389-392
2006-10-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)