离子束辅助沉积TiCN复合结构多功能膜的研究

摘要：

利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多功能TiCN膜层.通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层次晶态和非晶态复合结构;用划痕仪检测在膜层上划过的划痕十分平滑,可见该晶态和非晶态膜层与基底具有良好的结合力;用显微硬度计检测膜层的表面硬度,发现不同结构和不同成份的组合对硬度影响很大;在摩擦磨损试验机上进行干摩擦试验,具有较低的摩擦系数.

关键词： 离子束 辅助沉积 晶态 TiCN膜 复合结构 多功能膜

作者: 金杰 徐志潜 过骐千 王锦辉 明建川 李刘合

作者单位: 北京机械工业自动化研究所,北京,100011 北京航空航天大学,机械自动化学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 372-376

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）