反应离化团簇束法制备ZnO薄膜

摘要：

自行设计研制了一套反应离化团簇束制备ZnO薄膜的专门装置.用Hall等离子体源产生氧离子束和锌团簇离子.并在硅衬底上得到c轴取向,Zn、O原子百分比为1:1的ZnO薄膜.

关键词： 团簇 Hall源 ZnO薄膜 等离子体源 薄膜技术

作者: 杨种田 柯贤文 刘传胜 郭立平 付德君

作者单位: 武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 358-361

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）