K9玻璃的离子束抛光

摘要：

K9玻璃是常用的光学和微系统材料,其表面粗糙度对光学和微系统器件的性能具有十分重要的意义.本文研究了影响K9玻璃离子束抛光效果的因素,并得到了低于0.4nm的表面粗糙度.

关键词： K9玻璃 离子束抛光 粗糙度

作者: 苏志伟 陈庆川 冯春堂 韩大凯 崔茜容 石连天

作者单位: 核工业西南物理研究院,四川成都,610041

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 335-338

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）