用于超精密加工的大气等离子体源研制

摘要：

本研究建立了一个由射频(13.56MHz)激发的大气等离子体源,在1个大气压条件下能产生均匀的放电.光谱分析结果表明,当氦气流量为5～10 L/min时,等离子体中产生了氧和氦的激发态,而当氦气流速为15～20 L/min时,除了氧和氦的激发态外,等离子体中还产生了氮的激发态;当输入功率为100W时,光谱图中仅能发现少量谱线,表明激发态粒子种类比较少;输入功率增加到200W时,光谱图中能发现十几种放射谱线而且强度大大增加,表明激发态粒子种类和密度均大大增加.

关键词： 射频 大气等离子体源 光谱分析 超精密加工

作者: 王浪平 王小峰 汤宝寅 王波 董申

作者单位: 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,150001 哈尔滨工业大学机电工程学院,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 215-217

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）