微波功率源对MWPCVD金刚石膜沉积质量的影响

摘要：

微波功率源对MWPCVD金刚石膜的沉积质量有较大影响，实验发现，当微波功率源的输出功率以一定的规律稳定脉动时，所沉积出的金刚石膜中的非金刚石相碳含量急剧降低。

关键词： MWPCVD 金刚石 微波功率源

作者: 舒兴胜 邬钦崇

作者单位: 中国科学院等离子体物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 93-95

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）