红外增透与保护膜技术的研究

摘要：

采用电子束与离子辅助沉积技术,在氟化镁晶体材料上制备3.5～4.9μm增透与保护膜.经过实验,选取氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料,并优化沉积工艺参数,尽可能减少吸收损失,对氟化镁基底实现有效的增透和保护.实验结果表明,镀膜后其单面剩余反射率由未镀膜时的2.5％减少到1.2％,并能承受湿热和雨淋测试.

关键词： 红外增透膜 保护膜 离子辅助沉积 吸收损失 剩余反射率

作者: 付秀华 董连和 付新华 王崇娥

作者单位: 长春理工大学光电工程学院,吉林,长春,130022

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006光学、激光、红外技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1162-1164

在线出版日期: 2006-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）