声表面波电机的研究

摘要：

电磁电机发展到现在,其技术已经非常的成熟,在没有新的电磁和超导材料出现之前,很难有新的进展,难于满足高分辨率、精确定位的应用要求,特别是不能满足无磁场干扰环境中的应用.传统超声电机的驱动频率一般在几十kHz,很难通过不断的提高其驱动频率来实现小型化的发展,且难于达到纳米级定位的应用要求.声表面波电机驱动频率高(MHz),波长短,很容易通过提高其工作频率来实现微型化,可以实现高分辨率和精确定位,且表面波的能量主要集中在表面,效率比较高.本文详细介绍了声表面波电机的特点、应用领域、基本原理以及该种电机的国内外研究现状,阐述了进行声表面波电机研究的重要性.

关键词： 超声电机 声表面波电机 精密定位 叉指换能器 驱动频率

作者: 时运来 赵淳生

作者单位: 南京航空航天大学,江苏南京,250016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国小电机技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 197-203

在线出版日期: 2006-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）