三乙醇胺对超级化学镀铜沉积速率的影响

摘要：

本文通过往传统化学镀铜液和超级化学镀铜液中添加有机添加剂三乙醇胺,研究了不同的镀液温度、三乙醇胺浓度对其沉积速率的影响.实验结果表明,三乙醇胺的添加能大大提高传统化学镀铜溶液和超级化学镀铜液的沉积速率,降低反应的活化能.X射线衍射和原子力显微镜测定结果表明三乙醇胺的添加,不仅提高了化学镀铜膜晶面的结晶趋向,而且降低了铜膜的表面粗化度.

关键词： 化学镀铜 三乙醇胺 沉积速率 表面粗化度

作者: 姜洪艳 刘志鹃 王秀文 王增林

作者单位: 陕西师范大学化学与材料科学学院,西安,710062

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国化学镀会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 175-178

在线出版日期: 2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）