类金刚石薄膜在不同环境中的摩擦学研究

摘要：

利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术在单晶硅基底上制备了类金刚石(DLC)薄膜.采用Raman光谱和红外光谱研究了薄膜的微观结构,利用可控气氛摩擦试验机考察了薄膜在不同环境中的摩擦学行为.结果表明:制备的薄膜具有典型的舍氢类金刚石结构特征,环境气氛对DLC薄膜的摩擦行为有显著的影响.在干燥的N2中,薄膜具有非常低而稳定的摩擦系数(0.010);水分子或者氧分子的存在导致薄膜的摩擦系数升高;在高湿度下,DLC薄膜发生灾难性磨损.薄膜在不同环境中的摩擦行为与薄膜和测试环境之间摩擦化学作用有关.

关键词： 类金刚石薄膜 摩擦试验 摩擦系数

作者: 徐洮 李红轩 王成兵 陈建敏

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100039

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国宇航学会结构强度与环境工程专委会航天空间环境工程信息网学术讨论会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 187-190

在线出版日期: 2005-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）