纳米压印技术的图形精度分析

摘要：

纳米压印技术可实现纳米结构的图形转移,具有分辨率高、效率高、成本低的优点.通过对纳米压印过程中影响图形精度的一些因素进行分析,提出了相应的解决方法.利用研制的NIL-01型压印机进行工艺实验,给出纳米压印工艺实验的结果,并对结果进行了分析.采用镀有Cr的石英玻璃模版,在NIL-01型压印机上,用热压印技术可以压印出具有100nm特征尺寸的PMMA图形.

关键词： 纳米压印 压印图形 图形精度 石英玻璃模版

作者: 司卫华 董晓文 顾文琪

作者单位: 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院电工研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 428-433

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）