离子轰击对碳纳米尖端结构的影响

摘要：

CH4、NH3和H2为反应气体,利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统在无和有辉光放电的条件下制备了不同结构的碳纳米尖端,并用扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对碳纳米尖端进行了研究.结果表明碳纳米尖端是石墨结构,在有辉光放电时,能够形成顶角较小的碳纳米尖端.根据有关等离子体和溅射的理论分析,在有辉光放电时能够形成顶角较小的碳纳米尖端是由于离子的溅射刻蚀所致.

关键词： 碳纳米尖端 离子轰击 化学气相沉积 辉光放电

作者: 王必本 徐幸梓 张兵

作者单位: 北京工业大学应用数理学院,北京,100022 重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 401-405

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）