AutoCAD数据到掩模版图数据的转换及其速度优化
微光刻技术已被广泛地应用于微细加工的各个领域,通常其他领域技术人员没有采用集成电路版图设计软件生成光掩模数据,而是提供AutoCAD数据,然而AutoCAD不能直接生成光掩模制造用的版图数据,需要进行数据格式转换,而常用的数据转换软件存在着可靠性不强以及转换速度慢的缺点,因而,有必要对其进行深入的研究.本文在详细分析AutoCAD生成的图形交换格式文件(DXF文件)以及标准的掩模版图数据文件CIF格式文件的基础上,用VisualC++编写了图形界面的转换软件.然后根据转换实验,发现DXF文件输入和数据的初始化是程序运行速度的瓶颈和出错的多发地带,并针对此做出了改进.实验证明:改进输入与初始化算法能极大的提高转换效率.
数据转换 DXF文件 CIF文件 掩模版图
汤跃科 李金儒 陈宝钦
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029
国内会议
长沙
中文
391-395
2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）