基于USM的精密工件台系统研究

摘要：

精密工件台是电子束曝光设备中的重要部件,改进精密工件台技术可以促进电子束曝光技术的进一步发展.本文以超声电机(UltrasonieMotor,缩写为USM)技术为基础,结合超精密定位技术,设计了一个以直线型超声电机为驱动装置的、采用粗微两级定位技术的精密工件台系统,并给出了控制系统的软件流程图.

关键词： 精密工件台 超声电机 电子束曝光 控制系统

作者: 姜楠 方光荣 刘俊标 束娜

作者单位: 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院电工研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 383-386

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）