反应离子刻蚀在高频声表面波器件中的应用研究

摘要：

高频声表面波器件制作成声表面波器件的特点,对影响刻蚀的主要工艺参数进行了较深入的研究,并应用于660MHz高频声表面波器件的制备,使其电性能及成品率改善明显,其中成品率从30﹪提高到60﹪以上.

关键词： 声表面波器件 反应离子刻蚀 精细图形

作者: 姜红 陈志一

作者单位: 南京电子技术研究所,210013

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 379-382

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）