深刻技术在微真空器件中的应用研究

摘要：

微波真空电子器件的频率正在向毫米波、亚毫米波甚至太赫兹频率扩展,随着器件频率的提高,高频结构的尺寸越来越小,传统的机械加工方法已经不能满足零部件精度的要求,需要借助微细加工技术,特别是深刻技术,如LIGA,DRIE等.本文的目的在于对目前微真空电子器件的现状进行分析,研究深刻技术在高频真空器件中的应用.

关键词： 深刻技术 微型真空电子器件 行波管 速调管 返波振荡器

作者: 冯进军

作者单位: 中国电子科技集团12所,大功率微波电真空器件国家级重点实验室,100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 360-365

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）