溅射Ni-Cr薄膜电阻的研究

摘要：

可编程的只读存取器(PROM)作为一次性写入存储器,由于其内容不可擦出,稳定性好,被广泛应用于高可靠性领域.而熔丝型PROM是只读存储器的一种,它是通过熔断熔丝来实现编程的,因此镍铬熔丝的质量直接影响存储器的性能.本文通过试验的数据介绍采用磁控溅射制备Ni-Cr薄膜的方法,并通过光刻、腐蚀等试验,找到最佳的腐蚀条件,得到符合要求的Ni-Cr薄膜.

关键词： 可编程只读存取器 磁控溅射 Ni-Cr薄膜

作者: 王峰 陈桂梅 张丽 张丽娟 袁凯

作者单位: 东北微电子研究所,110032 沈阳工业大学,电子科学与技术教研室,110023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 335-338

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）