EUVL工件台的结构设计与优化

摘要：

作为极紫外光刻机的一个关键子系统,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素.对于工件台的结构设计,体积小、轻量化、好的散热性是基本要求.基于上述原因,本文设计了适用于45nm节点的极紫外光刻工件台系统,并用ansys软件对其进行了结构仿真分析.根据仿真结果,提出了优化设计方案.

关键词： 极紫外光刻机 真空工件台 仿真 优化设计

作者: 朱涛 李艳秋

作者单位: 中国科学院电工研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 305-310

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）