结合自组装单层的亚稳氦原子光刻技术

摘要：

采用不同网格尺寸的透射电镜铜网作为掩模,采用烷烃硫醇类小分子自组装单层作为光刻胶,光学质量的云母为衬底,用亚稳氦原子光刻技术制备具有纳米台阶的金膜图形.通过原子力显微镜分析,证明:这种技术可以将具有纳米台阶的正负图形可以很好的传递到金膜,具有高的可信度.同时,在不同时的实验中光刻图形的重复性很好.

关键词： 原子光刻 掩模 自组装单层

作者: 巨新

作者单位: 南京大学物理系,南京,210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 267-270

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）