长寿命间热式阴极离子源
本文介绍一种最新开发应用于100nm大角度离子注入机的长寿命离子源,该离子源最主要特征是采用间热式阴极代替传统的热灯丝阴极发射电子.同时根据工业化离子注入机实用性要求系统介绍离子源使用寿命、引出束流、多电荷离子产额、束稳定性能以及更换气体时束调整时间等参数在实际应用中的测试结果;结果表明:该离子源具有使用寿命长、引出束流和多电荷离子产额高、束稳定可靠、束调整响应时间快等实用性能好的特点,能满足工业化生产离子注入机的实用性要求.
长寿命离子源 使用寿命 间热式阴极 离子注入机
戴习毛 刘恺 伍三忠 龙会跃
中国电子科技集团总公司第四十八研究所,长沙,410111
国内会议
长沙
中文
263-266
2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）