浅谈氧离子注入机高温靶室的热设计

摘要：

本文从原理上阐述氧离子注入机高温靶室对制作SOI材料的要求,分析晶片加热途径和热传递方式,对晶片注入高温区结构和热源进行热设计,探讨高温靶的防污染及提高加热效率的方法与途径.

关键词： SOI 高温靶 热辐射 离子注入机 防污染

作者: 刘咸成 王慧勇 王学仕

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 254-256

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）