氧离子注入机大功率引出电源的研制

摘要：

本文作者通过研制三相高频开关电路和三相对称倍压电路,解决了氧离子注入机引出电源输出高压大功率的问题.在动态负载工作条件下,其额定输出为55kV、150mA,工作频率为30KHZ.该电源的研制成功为高频高压直流电源在半导体设备及其它领域的应用打下了良好的基础.

关键词： 离子注入机 引出电源 高频三相对称倍压 高压大功率

作者: 杨建生

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 249-253

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）