具有分流泄放功能的离子注入机减速电源

摘要：

本文介绍了减速电源的工作原理,着重描述如何采用高压电子管作为泄放开关,自动检测并泄放减速电极上产生的累积电荷.这一措施有效地保护了减速电源内部元器件的安全,增强了减速电源的可靠性,同时减小了低能注入中产生的能量污染.

关键词： 离子注入机 减速电源 分流泄放 高压电子管

作者: 何学飞 刘嘉宾 杨建生

作者单位: 中国电子科技集团第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 245-248

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）