注入剂量的均匀性检测和校正

摘要：

本文介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法.

关键词： 离子注入机 注入剂量 均匀性检测

作者: 王迪平 伍三忠 孙雪平 孙勇 王玮琪

作者单位: 中国电子科技集团第48研究所,长沙,410111 北京中科信电子装备有限公司,北京,100036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 236-240

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）