平行束测量与束平行度矫正技术

摘要：

本文对先扫描后加速系统的平行束测量的原理进行了详细的推导,对平行度的具体测量方法进行了详细的介绍.并介绍了如何根据测量结果对平行束透镜进行调整使之满足束平行度指标

关键词： 平行束 束平行度 透镜 测量矫正

作者: 孙雪平 孙勇 王迪平 伍三忠

作者单位: 中国电子科技集团第48研究所,长沙,410111 北京中科信电子装备有限公司,北京,100036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 231-235

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）