晶片静电吸附技术

摘要：

本文对六相静电吸持原理进行了详细的介绍,给出了六相吸持电压的时序图、电压幅度范围、电压工作频率范围,并详细介绍了六相电源的工作原理.

关键词： 静电吸附 六相吸盘 六相电源 晶片

作者: 孙雪平 唐景庭 蔡先武 彭立波 何学飞

作者单位: 中国电子科技集团第48研究所,长沙,410111 北京中科信电子装备有限公司,北京,100036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 227-230

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）