平行束透镜设计

摘要：

本文对各种平行束产生的装置进行了简要的介绍.并对我们所采取的方案进行详细的描述,其中包括平行束产生的机理、理论计算、边缘场效应的修正、磁铁的设计、线包设计以及平行束透镜电源指标的确定

关键词： 离子注入机 平行束 注入角度 透镜设计

作者: 孙雪平 郭健辉 彭立波 唐景庭

作者单位: 中国电子科技集团第48研究所,长沙,410111 北京中科信电子装备有限公司,北京,100036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 220-226

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）