聚焦离子束设备的真空系统

摘要：

简要介绍了聚焦离子束技术的应用范围和作用,综述了真空系统在聚焦离子束设备中的重要作用,聚焦离子束设备真空系统的主要组成以及设备达到的真空度.

关键词： 聚焦离子束 真空度 真空泵

作者: 宋秀云 张彬庭

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 216-219

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）