离子束材料改性技术及其应用

摘要：

本文简要介绍了材料表面改性用离子注入技术的机理和特点,综述了该技术在提高工件强度和硬度,改善磨损性能,降低摩擦系数等方面的用途,同时介绍了离子束实现材料表面改性技术在各个领域的应用概况,给出了部分较新的研究应用实例.文章对离子束技术未来的发展方向进行了分析和展望.

关键词： 离子束 材料表面改性 离子注入

作者: 束娜 方光荣

作者单位: 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院电工研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 211-215

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）