强流离子注入机防晶片电荷积累设计

摘要：

本文分析了离子注入机中晶片电荷积累的原因及影响,讨论了几种中和方法,并利用电子中和技术原理,设计了电子淋浴器,实际应用于强流离子注入机.改善了晶片上的电荷积累.

关键词： 强流离子注入 晶片电荷积累 电子淋浴器

作者: 宁宗娥 佘鹏程

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 201-205

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）