基于ARM微处理器的聚焦离子束部件调试

摘要：

本文介绍了笔者使用带LPC2104(PHILIPSARM核微处理器)的EasyARM2104开发板用于聚焦离子束电中和控制部件调试的实例,并以此对ARM处理器用于半导体设备部件调试和控制作一简略概述

关键词： 聚焦离子束 ARM 微处理器

作者: 刘京威

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 173-177

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）