聚焦离子束系统研究

摘要：

本文介绍了微细聚焦离子束设备的系统概况,系统通过采用双透镜并行工作模式,双频激光测距工件台,离子束扫描成像等技术,使系统满足实用化的要求.

关键词： 聚焦离子束 工件台 扫描离子成像 双透镜 并行工作模式

作者: 张彬庭 谭翔 王功荣 刘京威 宋秀云

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 178-181

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）