晶圆片自动定位方法

摘要：

具有高度自动控制功能的离子注入机利用机械手完成晶片输送工作,可以加快输送速度,避免人为出错及减少微粒污染.自动定位技术常常是自动装卸片过程中一项非常关键的技术.本文主要介绍了晶片自动定位的原理及实现方法.该自动定位方法应用于离子注入机上,效果非常理想.

关键词： 位置偏差 感光传感器 自动定位 离子注入

作者: 龙娟

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 169-172

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）