大角度离子注入机质量分析器设计

摘要：

质量分析器是离子注人机的重要组成部分，它的主要作用，是将离子束中的离子按其质量数的不同进行分选，选择所需要的离子通过分析器光栏，到达靶室，以保证注人元素的纯度。因此质量分析器应具有良好的分辨能力。同时为保证光路的束传输效率.质量分析器还应具有良好的的聚焦能力。本文简述了大角度离子注入机对分析器的要求,介绍了分析器的原理和结构设计。

关键词： 大角度离子注入机 磁场 偏转角度 励磁线包 质量分析器 聚焦

作者: 郭健辉 唐景庭 彭立波 刘仁杰

作者单位: 中国电子科技集团第48研究所,长沙,410111 北京中科信电子装备有限公司,北京,100036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 161-165

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）