采用单片机控制的真空控制器

摘要：

本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器.离子注入机真空系统复杂,为适应自动化控制的发展要求,真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外,还要具备通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点.采用8032单片机控制的真空控制器可以完全实现以上设计要求,文中阐述了它的工作原理,主要硬件结构、Modbus现场工业总线协议的软件设计及抗干扰措施.

关键词： 单片机 真空控制器 现场工业总线

作者: 邹春艳 伍三忠 罗宏洋

作者单位: 中国电子科技集团公司电子第48研究所,长沙市,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 145-150

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）