新型电子束曝光机的对准软件设计

摘要：

介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机的对准软件设计,详细分析了此类曝光机对准系统的设计方案,软件设计结构以及扫描场的校正过程.

关键词： 电子束曝光 对准系统 软件设计

作者: 张今朝 方光荣

作者单位: 中国科学院电工研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 123-127

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）