电子束抗蚀剂在光掩模制造工艺中的应用

摘要：

电子束抗蚀剂是微细加工工艺中极具发展潜力的一种抗蚀剂.本文介绍了在微细加工工艺中应用电子束抗蚀剂在光掩模制造中的关键步骤及目前常用的几种电子束抗蚀剂,分析了电子束抗蚀剂的特性及其应用于光掩模加工工艺中应注意的问题.

关键词： 电子束抗蚀剂 微细加工工艺 光掩模

作者: 段小楠

作者单位: 无锡华润微电子有限公司掩模工厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 113-116

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）