基于CPLD和高精度D/A的电子束曝光机定位误差补偿系统

摘要：

本文介绍了以CPLD(ComplexProgrammableLogicDevice,复杂可编程逻辑器件)和高精度数模转换芯片为核心器件构成的电子束曝光机定位误差实时补偿系统.着重讲述了使用CPLD对误差信号的变换过程、高精度D/A的使用.给出了Verilog程序源程序并讲述其处理过程.分析了本电子束曝光机定位误差实时补偿系统的特点.

关键词： 复杂可编程逻辑器件 电子束曝光机 数模转换芯片

作者: 殷伯华 方光荣 顾文琪

作者单位: 中科院电工研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 98-101

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）