电子束制作高分辨率波带片

摘要：

建立应用于波带片制作的微光刻图形数据模型,给出了数据量和份数的变化关系.并对于电子束制作过程中遇到的”鼓包”、数据丢失以及场拼接的情况进行了分析,最终制作出了最外环宽度是250nm的波带片.

关键词： 电子束 波带片 双曝光 邻近效应

作者: 王德强 谢常青 叶甜春

作者单位: 中国科学院微电子研究所,微细加工与纳米技术实验室,北京市朝阳区,100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 92-97

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）